質(zhì)量流量計(jì)是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。熱式流量開關(guān)熱導(dǎo)式流量開關(guān)。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。

　　質(zhì)量流量計(jì)使用中出現(xiàn)故障，一般分為工藝原因造成的測量故障和流量計(jì)本身器件出現(xiàn)損壞而引發(fā)的故障。

　　1、工藝原因引發(fā)的測量故障:

　　常見的就是被測流體出現(xiàn)兩相流現(xiàn)象。具體到液體的測量中主要為被測液體沒有充滿流量計(jì)測量管或測量管上部集聚氣體，或有固態(tài)雜質(zhì)進(jìn)入測量管中卡主，引發(fā)質(zhì)量流量計(jì)故障報警。

　　處理方法：通過排放氣體變更安裝方式等手段保證質(zhì)量流量計(jì)所測流體為單向流，采取措施清除測量管內(nèi)的固體雜質(zhì)。

　　2、質(zhì)量流量計(jì)本身器件出現(xiàn)損壞造成流量計(jì)故障：

　　使用中常見的是流量計(jì)接線盒進(jìn)水或接線松動引發(fā)短路、信號丟失等故障。

　　處理方法：對此除嚴(yán)格規(guī)范現(xiàn)場安裝外，日常還要進(jìn)行細(xì)致的巡檢維護(hù)，防止處理不及時引發(fā)傳感器線圈燒毀等更嚴(yán)重的故障發(fā)生。

　　3、變送器電路板損壞，常見的故障時變送器的電源板、信號處理輸出板出現(xiàn)損壞。

　　處理方法：除嚴(yán)格規(guī)范線纜信號接線外還要做好防雷接地措施，使用獨(dú)立的穩(wěn)壓電源保證供電電源的可靠性，防止電源電壓大幅度波動而燒毀器件。