質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關熱導式流量開關。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于低值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa)，有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。那么如果質量流量控制器出現流量偏差是一件非常嚴重的事情，因此當出現偏差的問題我們需及時的解決，今天跟大家淺談質量流量控制器出現流量偏差的解決方法；

　　一、檢查出現偏差方法

　　1.零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；

　　2.氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修中心接受A/S；

　　3.質量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程。