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簡(jiǎn)要描述：科里奧利質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2024-08-06訪 問 量：1357詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
科里奧利質(zhì)量流量控制器其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無(wú)需預(yù)熱
四個(gè)過程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
科里奧利質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
1 | 量程范圍 | ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
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