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科氏液體質(zhì)量流量控制器

簡要描述：科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

產(chǎn)品型號：5911D4
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-06-25
訪問量：1341

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品牌	GRYLLS/格里爾斯	應用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子

科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術(shù)指標

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復精度	±0.2%F.S
5	響應時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環(huán)境溫度	0~70℃
9	數(shù)字量	RS485 MODBUS協(xié)議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15
13	漏率	1×10\u001F-8SCCSH

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